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Pulsed Laser Interference Lithography : Principles and Applications

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2013

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SCHIMMEL, Thomas, ed. and others. Advances in nanotechnology - physics, chemistry, and biology of nanostructures : results of the third research programme Kompetenznetz "Funktionelle Nanostrukturen "(Competence Network on Functional Nanostructures). Stuttgart: Baden-Württemberg Stiftung, 2013, pp. 355-372. ISBN 978-3-00-039257-3

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Fachgebiet (DDC)
530 Physik

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ISO 690RIEDEL, Stephen, Tobias GELDHAUSER, Elke SCHEER, Paul LEIDERER, F. ENDERLE, Alfred PLETTL, Johannes BONEBERG, 2013. Pulsed Laser Interference Lithography : Principles and Applications. In: SCHIMMEL, Thomas, ed. and others. Advances in nanotechnology - physics, chemistry, and biology of nanostructures : results of the third research programme Kompetenznetz "Funktionelle Nanostrukturen "(Competence Network on Functional Nanostructures). Stuttgart: Baden-Württemberg Stiftung, 2013, pp. 355-372. ISBN 978-3-00-039257-3
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