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Luhmann, Niklas
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Luhmann, Niklas
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Zeitschriftenartikel
Effect of oxygen plasma on nanomechanical silicon nitride resonators
(
2017
)
Luhmann, Niklas
;
Jachimowicz, Artur
;
Schalko, Johannes
;
Sadeghi, Pedram
;
Sauer, Markus
;
Foelske-Schmitz, Annette
;
Schmid, Silvan
Erschienen in: Applied Physics Letters ; 111 (2017), 6. - 063103. - ISSN 0003-6951. - eISSN 1077-3118
