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Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K

Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K

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EISENMENGER, Johannes, Joachim SCHIESSLING, Uwe BOLZ, Bernd-Uwe RUNGE, Paul LEIDERER, Michael LORENZ, Holger HOCHMUTH, Michael WALLENHORST, Horst DÖTSCH, 1998. Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik. Gelsenkirchen, 19. Okt 1998 - 20. Okt 1998. In: VDI-TECHNOLOGIEZENTRUM PHYSIKALISCHE TECHNOLOGIEN, , ed.. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik : zum 6. Statusseminar 19.- 20. Oktober 1998, Gelsenkirchen ; Berichte zu F & E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Bildung und Forschung. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik. Gelsenkirchen, 19. Okt 1998 - 20. Okt 1998. Düsseldorf:VDI-Verl., pp. 48-53. ISBN 3-931384-26-8

@inproceedings{Eisenmenger1998Zerst-9170, title={Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K}, year={1998}, isbn={3-931384-26-8}, address={Düsseldorf}, publisher={VDI-Verl.}, booktitle={Supraleitung und Tieftemperaturtechnik : zum 6. Statusseminar 19.- 20. Oktober 1998, Gelsenkirchen ; Berichte zu F & E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Bildung und Forschung}, pages={48--53}, editor={VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien}, author={Eisenmenger, Johannes and Schiessling, Joachim and Bolz, Uwe and Runge, Bernd-Uwe and Leiderer, Paul and Lorenz, Michael and Hochmuth, Holger and Wallenhorst, Michael and Dötsch, Horst} }

deu Zuerst ersch. in: Supraleitung und Tieftemperaturtechnik : zum 6. Statusseminar 19.-20. Oktober 1998, Gelsenkirchen ; Berichte zu F&E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Bildung und Forschung / Hrsg. vom VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien. - Düsseldorf : VDI-Verl., 1999. - S. 48-53. - ISBN 3-931384-26-8 2011-03-24T17:54:13Z Hochmuth, Holger Bolz, Uwe Dötsch, Horst Hochmuth, Holger Wallenhorst, Michael Wallenhorst, Michael Schiessling, Joachim Schiessling, Joachim Eisenmenger, Johannes Eisenmenger, Johannes Dötsch, Horst Lorenz, Michael Bolz, Uwe Leiderer, Paul Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K application/pdf Doppelsei tige 3-Zoll-HTSL-Wafer wurden magnetooptisch charakterisiert. Der vorgestellte Aufbau erlaubt einen schnellen und zerstorungsfreien Nachweis von lokalen und ausgedehnten Inhornogenitiiten in der kritischen Stromdichte rnit hoher Ortsauflosung im Mikrometerbereich. Zusatzliche Goldschichten auf den HTSL-Wafem, wie sie manchmal in der Bauteilherstellung eingesetzt werden, beeinflussen nicht das Ergebnis der Messungen. Die hohe rnagnetische Empfindlichkeit erlaubt sogar den Nachweis lokaler Defekte bei 77 K, wo der Kontrast in den kntischen Stromen schwiicher ist und die Charakterisierung von HTSLFilmen vie1 schwieriger ist als bei tieferen Temperaturen. Der Aufbau kann daher selbst unter Bedjngungen eingesetzt werden, bei denen Kiihlung rnittels Flussig-Helium oder Kleinkuhler nicht zur Verfugung steht. Die Empfindljchkeit wurde an natiirlichen und lainstlichen Defekten iiberpriift, wobei letztere durch fokussierte Laserstrahlung hergestellt wurden. Leiderer, Paul Runge, Bernd-Uwe 2011-03-24T17:54:13Z deposit-license 1998 Runge, Bernd-Uwe Lorenz, Michael

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