Aufbau einer intensiven Cluster-Ionenquelle

Zitieren

Dateien zu dieser Ressource

Prüfsumme: MD5:f0e8e16ed41524f6977e842bcf8ee2f2

STOLCIC, Davor, 1998. Aufbau einer intensiven Cluster-Ionenquelle

@mastersthesis{Stolcic1998Aufba-9162, title={Aufbau einer intensiven Cluster-Ionenquelle}, year={1998}, author={Stolcic, Davor} }

<rdf:RDF xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#" xmlns:bibo="http://purl.org/ontology/bibo/" xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/" xmlns:dcterms="http://purl.org/dc/terms/" xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#" > <rdf:Description rdf:about="https://kops.uni-konstanz.de/rdf/resource/123456789/9162"> <dc:contributor>Stolcic, Davor</dc:contributor> <dc:format>application/pdf</dc:format> <dc:rights>deposit-license</dc:rights> <dcterms:abstract xml:lang="deu">ist im Rahmen einer Zusammenarbeit mit der Firma Carl Zeiss in Oberkochen dortige Abteilung für Halbleitertechnologie befaßt sich mit der Entwicklung optischen Systemen für Waferstepper, die zur Herstellung von Computerchips werden. Waferstepper werden dazu verwendet, am Reißbrett entworfene auf das eigentliche Mikrochipmaterial (Silizium) lithographisch zu Integrationsdichte von Mikroprozessoren und Speicherbauelementen hängt Qualität der Beleuchtungssysteme und dem Auflösungsvermögen der Hochleistungsobjektive ab. Die modernsten optischen Systeme erlauben im Moment die Herstellung kleiner 0,25 µm, wie sie z.B. für den 256 Mbit-DRAM benötigt werden. Das Licht liegt im nahen Ultraviolettbereich bei einer Wellenlänge von die in diesen Objektiven verwendet werden, haben aus herstellungstechnischen eine sphärische Form. Die Qualität der Linsen definiert sich über die Exaktheit Als Maß für die Qualität gibt man die mittlere quadratische Abweichung von der Idealform an. Diese liegt derzeit bei 1,5 nm. Dies ist eine sehr wenn man bedenkt, daß der Wert über die gesamte Linsenoberfläche, bei bis zu 250 mm, eingehalten werden muß. Umgerechnet auf die München entspricht dies einer Bodenwelle von ca. 5 mm Höhe.</dcterms:abstract> <dcterms:title>Aufbau einer intensiven Cluster-Ionenquelle</dcterms:title> <dcterms:available rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2011-03-24T17:54:09Z</dcterms:available> <dc:creator>Stolcic, Davor</dc:creator> <bibo:uri rdf:resource="http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/9162"/> <dc:language>deu</dc:language> <dcterms:rights rdf:resource="http://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:352-20140905103416863-3868037-7"/> <dcterms:issued>1998</dcterms:issued> <dc:date rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2011-03-24T17:54:09Z</dc:date> </rdf:Description> </rdf:RDF>

Dateiabrufe seit 01.10.2014 (Informationen über die Zugriffsstatistik)

78_1.pdf 63

Das Dokument erscheint in:

KOPS Suche


Stöbern

Mein Benutzerkonto