Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann
| Publikationstyp: | Zeitschriftenartikel |
| URI (zitierfähiger Link): | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:352-opus-28461 |
| Autor/innen: | Burmeister, Frank; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul |
| Erscheinungsjahr: | 2000 |
| Erschienen in: | Physikalische Blätter ; 56 (2000), 4. - S. 49-51 |
| DOI (zitierfähiger Link): | https://dx.doi.org/10.1002/phbl.20000560412 |
| Zusammenfassung: |
Nanostrukturen sind zurzeit in aller Munde, da man von ihnen neuartige physikalische und chemische Eigenschaften erwartet. Zur Erzeugung solcher Strukturen mit GroBen von wenigen hundert Nanometern und darunter werden ganz unterschiedliche Lithographyeverfahren eingesetzt. Dabei sind meist aufwandige Apparaturen notwendig, um grotlere nanostrukturierte Bereiche zu erhalten. Im Folgenden stellen wir einen alternativen, technisch einfachen Ansatz vor, bei dem ein durch Kapillarkrafte induzierter, selbstorganisierter Prozess fiir die Herstellung von Nanostrukturen ausgenutzt wird.
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| Fachgebiet (DDC): | 530 Physik |
| Link zur Lizenz: | Deposit-Lizenz |
| Universitätsbibliographie: | Ja |
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BURMEISTER, Frank, Johannes BONEBERG, Paul LEIDERER, 2000. Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann. In: Physikalische Blätter. 56(4), pp. 49-51
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