Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann
| Type of Publication: | Journal article |
| URI (citable link): | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:352-opus-28461 |
| Author: | Burmeister, Frank; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul |
| Year of publication: | 2000 |
| Published in: | Physikalische Blätter ; 56 (2000), 4. - pp. 49-51 |
| DOI (citable link): | https://dx.doi.org/10.1002/phbl.20000560412 |
| Summary: |
Nanostrukturen sind zurzeit in aller Munde, da man von ihnen neuartige physikalische und chemische Eigenschaften erwartet. Zur Erzeugung solcher Strukturen mit GroBen von wenigen hundert Nanometern und darunter werden ganz unterschiedliche Lithographyeverfahren eingesetzt. Dabei sind meist aufwandige Apparaturen notwendig, um grotlere nanostrukturierte Bereiche zu erhalten. Im Folgenden stellen wir einen alternativen, technisch einfachen Ansatz vor, bei dem ein durch Kapillarkrafte induzierter, selbstorganisierter Prozess fiir die Herstellung von Nanostrukturen ausgenutzt wird.
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| Subject (DDC): | 530 Physics |
| Link to License: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.0 Generic |
| Bibliography of Konstanz: | Yes |
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BURMEISTER, Frank, Johannes BONEBERG, Paul LEIDERER, 2000. Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann. In: Physikalische Blätter. 56(4), pp. 49-51. Available under: doi: 10.1002/phbl.20000560412
@article{Burmeister2000Kapil-8995, title={Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann}, year={2000}, doi={10.1002/phbl.20000560412}, number={4}, volume={56}, journal={Physikalische Blätter}, pages={49--51}, author={Burmeister, Frank and Boneberg, Johannes and Leiderer, Paul} }
<rdf:RDF xmlns:dcterms="http://purl.org/dc/terms/" xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/" xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#" xmlns:bibo="http://purl.org/ontology/bibo/" xmlns:dspace="http://digital-repositories.org/ontologies/dspace/0.1.0#" xmlns:foaf="http://xmlns.com/foaf/0.1/" xmlns:void="http://rdfs.org/ns/void#" xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#" > <rdf:Description rdf:about="https://kops.uni-konstanz.de/rdf/resource/123456789/8995"> <dcterms:abstract xml:lang="deu">Nanostrukturen sind zurzeit in aller Munde, da man von ihnen neuartige physikalische und chemische Eigenschaften erwartet. Zur Erzeugung solcher Strukturen mit GroBen von wenigen hundert Nanometern und darunter werden ganz unterschiedliche Lithographyeverfahren eingesetzt. Dabei sind meist aufwandige Apparaturen notwendig, um grotlere nanostrukturierte Bereiche zu erhalten. Im Folgenden stellen wir einen alternativen, technisch einfachen Ansatz vor, bei dem ein durch Kapillarkrafte induzierter, selbstorganisierter Prozess fiir die Herstellung von Nanostrukturen ausgenutzt wird.</dcterms:abstract> <dspace:hasBitstream rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/bitstream/123456789/8995/1/275_physbl_2000.pdf"/> <dc:contributor>Boneberg, Johannes</dc:contributor> <dcterms:isPartOf rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/rdf/resource/123456789/41"/> <dc:date rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2011-03-24T17:52:42Z</dc:date> <dc:creator>Burmeister, Frank</dc:creator> <dcterms:bibliographicCitation>First publ. in: Physikalische Blätter 56 (2000), 4, pp. 49-51</dcterms:bibliographicCitation> <dcterms:rights rdf:resource="http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.0/"/> <dc:creator>Boneberg, Johannes</dc:creator> <dcterms:issued>2000</dcterms:issued> <dcterms:title>Mit Kapillarkräften zu Nanostrukturen : wie man die Selbstorganisation von Kolloidkügelchen für die Submikrometer-Lithographie nutzen kann</dcterms:title> <dcterms:available rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2011-03-24T17:52:42Z</dcterms:available> <void:sparqlEndpoint rdf:resource="http://localhost/fuseki/dspace/sparql"/> <bibo:uri rdf:resource="http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/8995"/> <foaf:homepage rdf:resource="http://localhost:8080/jspui"/> <dspace:isPartOfCollection rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/rdf/resource/123456789/41"/> <dcterms:hasPart rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/bitstream/123456789/8995/1/275_physbl_2000.pdf"/> <dc:contributor>Burmeister, Frank</dc:contributor> <dc:format>application/pdf</dc:format> <dc:creator>Leiderer, Paul</dc:creator> <dc:rights>Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.0 Generic</dc:rights> <dc:language>deu</dc:language> <dc:contributor>Leiderer, Paul</dc:contributor> </rdf:Description> </rdf:RDF>
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