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Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

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DRIESSEN, Marion, 2014. Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen. Stuttgart : Fraunhofer-Verl.. ISBN 978-3-8396-0651-3

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