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Analyse des Verhaltens von Wasserstoff in kristallinem Silizium nach Eintrag aus dielektrischen Schichten

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530 Physik

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ISO 690ZERFASS, Ruben, 2023. Analyse des Verhaltens von Wasserstoff in kristallinem Silizium nach Eintrag aus dielektrischen Schichten [Master thesis]. Konstanz: Universität Konstanz
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Konstanz, Universität Konstanz, Masterarbeit/Diplomarbeit, 2023
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Universitätsbibliographie
Ja
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