Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik

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Datum
2012
Autor:innen
Mack, Sebastian
Herausgeber:innen
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ISSN der Zeitschrift
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ISBN
978-3-8439-0776-7
Bibliografische Daten
Verlag
München : Dr. Hut
Schriftenreihe
Regenerative Energien;
Auflagebezeichnung
DOI (zitierfähiger Link)
ArXiv-ID
Internationale Patentnummer
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Projekt
Open Access-Veröffentlichung
Sammlungen
Core Facility der Universität Konstanz
Gesperrt bis
Titel in einer weiteren Sprache
Forschungsvorhaben
Organisationseinheiten
Zeitschriftenheft
Publikationstyp
Dissertation
Publikationsstatus
Published
Erschienen in
Zusammenfassung

Im Rahmen dieser Doktorarbeit wurden thermische Oxidationsprozesse entwickelt und optimiert und in verschiedene Prozesssequenzen zur Herstellung von großflächigen Si-Solarzellen implementiert, bei denen mindestens eine Si-Oberfläche durch eine thermische SiO2-Schicht passiviert ist. Für die entwickelten Solarzellenstrukturen erfolgte ein Vergleich mit der konventionellen Al-BSF-Solarzellenstruktur ohne thermischen Oxidationsprozess und eine Bewertung hinsichtlich ihrer Kennliniengrößen. Die thermischen SiO2-Schichten und die Si/SiO2-Grenzfläche wurden eingehend charakterisiert und der Einfluss des Oxidationsprozesses auf vorhandene Dotierprofile und dielektrische Schichten beschrieben. Des Weiteren wurde untersucht, wie sich dem Oxidationsprozess vor- und nachgelagerte Prozessschritte auf die thermische SiO2- Schicht auswirken und zu Änderungen an der Si/SiO2-Grenzfläche führen. Ein starker Fokus der Arbeit lag insbesondere auf der Entwicklung industriell umsetzbarer Prozesse und Prozesssequenzen.

Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Fachgebiet (DDC)
530 Physik
Schlagwörter
Konferenz
Rezension
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Zitieren
ISO 690MACK, Sebastian, 2012. Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik [Dissertation]. Konstanz: University of Konstanz. München : Dr. Hut. ISBN 978-3-8439-0776-7
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Interner Vermerk
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Prüfungsdatum der Dissertation
July 6, 2012
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