Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik
Dateien
Datum
Autor:innen
Herausgeber:innen
ISSN der Zeitschrift
Electronic ISSN
ISBN
Bibliografische Daten
Verlag
Schriftenreihe
Auflagebezeichnung
URI (zitierfähiger Link)
Internationale Patentnummer
Angaben zur Forschungsförderung
Projekt
Open Access-Veröffentlichung
Sammlungen
Core Facility der Universität Konstanz
Titel in einer weiteren Sprache
Publikationstyp
Publikationsstatus
Erschienen in
Zusammenfassung
Im Rahmen dieser Doktorarbeit wurden thermische Oxidationsprozesse entwickelt und optimiert und in verschiedene Prozesssequenzen zur Herstellung von großflächigen Si-Solarzellen implementiert, bei denen mindestens eine Si-Oberfläche durch eine thermische SiO2-Schicht passiviert ist. Für die entwickelten Solarzellenstrukturen erfolgte ein Vergleich mit der konventionellen Al-BSF-Solarzellenstruktur ohne thermischen Oxidationsprozess und eine Bewertung hinsichtlich ihrer Kennliniengrößen. Die thermischen SiO2-Schichten und die Si/SiO2-Grenzfläche wurden eingehend charakterisiert und der Einfluss des Oxidationsprozesses auf vorhandene Dotierprofile und dielektrische Schichten beschrieben. Des Weiteren wurde untersucht, wie sich dem Oxidationsprozess vor- und nachgelagerte Prozessschritte auf die thermische SiO2- Schicht auswirken und zu Änderungen an der Si/SiO2-Grenzfläche führen. Ein starker Fokus der Arbeit lag insbesondere auf der Entwicklung industriell umsetzbarer Prozesse und Prozesssequenzen.
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Fachgebiet (DDC)
Schlagwörter
Konferenz
Rezension
Zitieren
ISO 690
MACK, Sebastian, 2012. Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik [Dissertation]. Konstanz: University of Konstanz. München : Dr. Hut. ISBN 978-3-8439-0776-7BibTex
@phdthesis{Mack2012Therm-22843,
year={2012},
publisher={München : Dr. Hut},
title={Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik},
author={Mack, Sebastian},
address={Konstanz},
school={Universität Konstanz}
}RDF
<rdf:RDF
xmlns:dcterms="http://purl.org/dc/terms/"
xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/"
xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#"
xmlns:bibo="http://purl.org/ontology/bibo/"
xmlns:dspace="http://digital-repositories.org/ontologies/dspace/0.1.0#"
xmlns:foaf="http://xmlns.com/foaf/0.1/"
xmlns:void="http://rdfs.org/ns/void#"
xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#" >
<rdf:Description rdf:about="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/22843">
<dcterms:title>Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik</dcterms:title>
<dcterms:rights rdf:resource="https://rightsstatements.org/page/InC/1.0/"/>
<dc:creator>Mack, Sebastian</dc:creator>
<dc:rights>terms-of-use</dc:rights>
<dcterms:issued>2012</dcterms:issued>
<bibo:uri rdf:resource="http://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/22843"/>
<void:sparqlEndpoint rdf:resource="http://localhost/fuseki/dspace/sparql"/>
<dc:date rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2013-04-17T07:36:40Z</dc:date>
<dc:language>deu</dc:language>
<dcterms:abstract xml:lang="deu">Im Rahmen dieser Doktorarbeit wurden thermische Oxidationsprozesse entwickelt und optimiert und in verschiedene Prozesssequenzen zur Herstellung von großflächigen Si-Solarzellen implementiert, bei denen mindestens eine Si-Oberfläche durch eine thermische SiO2-Schicht passiviert ist. Für die entwickelten Solarzellenstrukturen erfolgte ein Vergleich mit der konventionellen Al-BSF-Solarzellenstruktur ohne thermischen Oxidationsprozess und eine Bewertung hinsichtlich ihrer Kennliniengrößen. Die thermischen SiO2-Schichten und die Si/SiO2-Grenzfläche wurden eingehend charakterisiert und der Einfluss des Oxidationsprozesses auf vorhandene Dotierprofile und dielektrische Schichten beschrieben. Des Weiteren wurde untersucht, wie sich dem Oxidationsprozess vor- und nachgelagerte Prozessschritte auf die thermische SiO2- Schicht auswirken und zu Änderungen an der Si/SiO2-Grenzfläche führen. Ein starker Fokus der Arbeit lag insbesondere auf der Entwicklung industriell umsetzbarer Prozesse und Prozesssequenzen.</dcterms:abstract>
<dcterms:isPartOf rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/41"/>
<dspace:isPartOfCollection rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/41"/>
<bibo:issn>978-3-8439-0776-7</bibo:issn>
<dc:contributor>Mack, Sebastian</dc:contributor>
<dc:publisher>München : Dr. Hut</dc:publisher>
<foaf:homepage rdf:resource="http://localhost:8080/"/>
<dcterms:available rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2013-04-17T07:36:40Z</dcterms:available>
</rdf:Description>
</rdf:RDF>
