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Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik

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Datum

2012

Autor:innen

Mack, Sebastian

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ISBN

978-3-8439-0776-7
Bibliografische Daten

Verlag

München : Dr. Hut

Schriftenreihe

Regenerative Energien;

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Projekt

Open Access-Veröffentlichung
Core Facility der Universität Konstanz

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Publikationstyp
Dissertation
Publikationsstatus
Published

Erschienen in

Zusammenfassung

Im Rahmen dieser Doktorarbeit wurden thermische Oxidationsprozesse entwickelt und optimiert und in verschiedene Prozesssequenzen zur Herstellung von großflächigen Si-Solarzellen implementiert, bei denen mindestens eine Si-Oberfläche durch eine thermische SiO2-Schicht passiviert ist. Für die entwickelten Solarzellenstrukturen erfolgte ein Vergleich mit der konventionellen Al-BSF-Solarzellenstruktur ohne thermischen Oxidationsprozess und eine Bewertung hinsichtlich ihrer Kennliniengrößen. Die thermischen SiO2-Schichten und die Si/SiO2-Grenzfläche wurden eingehend charakterisiert und der Einfluss des Oxidationsprozesses auf vorhandene Dotierprofile und dielektrische Schichten beschrieben. Des Weiteren wurde untersucht, wie sich dem Oxidationsprozess vor- und nachgelagerte Prozessschritte auf die thermische SiO2- Schicht auswirken und zu Änderungen an der Si/SiO2-Grenzfläche führen. Ein starker Fokus der Arbeit lag insbesondere auf der Entwicklung industriell umsetzbarer Prozesse und Prozesssequenzen.

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Fachgebiet (DDC)
530 Physik

Schlagwörter

Konferenz

Rezension
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Forschungsvorhaben

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Zitieren

ISO 690MACK, Sebastian, 2012. Thermische Oxidation für die Silicium-Photovoltaik [Dissertation]. Konstanz: University of Konstanz. München : Dr. Hut. ISBN 978-3-8439-0776-7
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Prüfungsdatum der Dissertation

July 6, 2012
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