Publikation: Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K
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Datum
1998
Autor:innen
Eisenmenger, Johannes
Schiessling, Joachim
Bolz, Uwe
Lorenz, Michael
Hochmuth, Holger
Wallenhorst, Michael
Dötsch, Horst
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Beitrag zu einem Konferenzband
Publikationsstatus
Published
Erschienen in
VDI-TECHNOLOGIEZENTRUM PHYSIKALISCHE TECHNOLOGIEN, , ed.. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik : zum 6. Statusseminar 19.- 20. Oktober 1998, Gelsenkirchen ; Berichte zu F & E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Bildung und Forschung. Düsseldorf: VDI-Verl., 1998, pp. 48-53. ISBN 3-931384-26-8
Zusammenfassung
Doppelsei tige 3-Zoll-HTSL-Wafer wurden magnetooptisch charakterisiert. Der vorgestellte Aufbau erlaubt einen schnellen und zerstorungsfreien Nachweis von lokalen und ausgedehnten Inhornogenitiiten in der kritischen Stromdichte rnit hoher Ortsauflosung im Mikrometerbereich. Zusatzliche Goldschichten auf den HTSL-Wafem, wie sie manchmal in der Bauteilherstellung eingesetzt werden, beeinflussen nicht das Ergebnis der Messungen. Die hohe rnagnetische Empfindlichkeit erlaubt sogar den Nachweis lokaler Defekte bei 77 K, wo der Kontrast in den kntischen Stromen schwiicher ist und die Charakterisierung von HTSLFilmen vie1 schwieriger ist als bei tieferen Temperaturen. Der Aufbau kann daher selbst unter Bedjngungen eingesetzt werden, bei denen Kiihlung rnittels Flussig-Helium oder Kleinkuhler nicht zur Verfugung steht. Die Empfindljchkeit wurde an natiirlichen und lainstlichen Defekten iiberpriift, wobei letztere durch fokussierte Laserstrahlung hergestellt wurden.
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Fachgebiet (DDC)
530 Physik
Schlagwörter
Konferenz
Supraleitung und Tieftemperaturtechnik, 19. Okt. 1998 - 20. Okt. 1998, Gelsenkirchen
Rezension
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Zitieren
ISO 690
EISENMENGER, Johannes, Joachim SCHIESSLING, Uwe BOLZ, Bernd-Uwe RUNGE, Paul LEIDERER, Michael LORENZ, Holger HOCHMUTH, Michael WALLENHORST, Horst DÖTSCH, 1998. Zerstörungsfreie magnetooptische Charakterisierung von natürlichen und künstlichen Defekten an 3-Zoll-HTSL-Wafern bei 77K. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik. Gelsenkirchen, 19. Okt. 1998 - 20. Okt. 1998. In: VDI-TECHNOLOGIEZENTRUM PHYSIKALISCHE TECHNOLOGIEN, , ed.. Supraleitung und Tieftemperaturtechnik : zum 6. Statusseminar 19.- 20. Oktober 1998, Gelsenkirchen ; Berichte zu F & E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Bildung und Forschung. Düsseldorf: VDI-Verl., 1998, pp. 48-53. ISBN 3-931384-26-8BibTex
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Universitätsbibliographie
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