Publikation: Metal Interconnects
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Datum
2012
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Published
Erschienen in
WASER, Rainer, ed.. Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices. 3., completely rev. and enlarged ed.. Weinheim: Wiley VCH, 2012, pp. 765-776. ISBN 978-3-527-40927-3
Zusammenfassung
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Fachgebiet (DDC)
530 Physik
Schlagwörter
Metallic Interconnects
Konferenz
Rezension
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Zitieren
ISO 690
SCHEER, Elke, 2012. Metal Interconnects. In: WASER, Rainer, ed.. Nanoelectronics and information technology : advanced electronic materials and novel devices. 3., completely rev. and enlarged ed.. Weinheim: Wiley VCH, 2012, pp. 765-776. ISBN 978-3-527-40927-3BibTex
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Interner Vermerk
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Prüfungsdatum der Dissertation
Finanzierungsart
Kommentar zur Publikation
Allianzlizenz
Corresponding Authors der Uni Konstanz vorhanden
Internationale Co-Autor:innen
Universitätsbibliographie
Ja