Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas

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Datum
2021
Autor:innen
Baumgarten, Lutz
Mittmann, Terence
Matveyev, Yury
Schlueter, Christoph
Mikolajick, Thomas
Schroeder, Uwe
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Zeitschriftenartikel
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Erschienen in
physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters. Wiley. 2021, 15(5), 2100027. ISSN 1862-6254. eISSN 1862-6270. Available under: doi: 10.1002/pssr.202100027
Zusammenfassung
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Fachgebiet (DDC)
530 Physik
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Konferenz
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Zeitschriftenheft
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ISO 690SZYJKA, Thomas, Lutz BAUMGARTEN, Terence MITTMANN, Yury MATVEYEV, Christoph SCHLUETER, Thomas MIKOLAJICK, Uwe SCHROEDER, Martina MÜLLER, 2021. Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas. In: physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters. Wiley. 2021, 15(5), 2100027. ISSN 1862-6254. eISSN 1862-6270. Available under: doi: 10.1002/pssr.202100027
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