Publikation:

Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas

Lade...
Vorschaubild

Dateien

Szyjka_2-1eyquhuhauuss5.pdf
Szyjka_2-1eyquhuhauuss5.pdfGröße: 689.48 KBDownloads: 211

Datum

2021

Autor:innen

Baumgarten, Lutz
Mittmann, Terence
Matveyev, Yury
Schlueter, Christoph
Mikolajick, Thomas
Schroeder, Uwe

Herausgeber:innen

Kontakt

ISSN der Zeitschrift

Electronic ISSN

ISBN

Bibliografische Daten

Verlag

Schriftenreihe

Auflagebezeichnung

ArXiv-ID

Internationale Patentnummer

Link zur Lizenz

Angaben zur Forschungsförderung

European Union (EU): 780302

Projekt

Open Access-Veröffentlichung
Open Access Hybrid
Core Facility der Universität Konstanz

Gesperrt bis

Titel in einer weiteren Sprache

Publikationstyp
Zeitschriftenartikel
Publikationsstatus
Published

Erschienen in

physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters. Wiley. 2021, 15(5), 2100027. ISSN 1862-6254. eISSN 1862-6270. Available under: doi: 10.1002/pssr.202100027

Zusammenfassung

Zusammenfassung in einer weiteren Sprache

Fachgebiet (DDC)
530 Physik

Schlagwörter

Konferenz

Rezension
undefined / . - undefined, undefined

Forschungsvorhaben

Organisationseinheiten

Zeitschriftenheft

Zugehörige Datensätze in KOPS

Zitieren

ISO 690SZYJKA, Thomas, Lutz BAUMGARTEN, Terence MITTMANN, Yury MATVEYEV, Christoph SCHLUETER, Thomas MIKOLAJICK, Uwe SCHROEDER, Martina MÜLLER, 2021. Chemical Stability of IrO2 Top Electrodes in Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas. In: physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters. Wiley. 2021, 15(5), 2100027. ISSN 1862-6254. eISSN 1862-6270. Available under: doi: 10.1002/pssr.202100027
BibTex
@article{Szyjka2021-05Chemi-53094,
  year={2021},
  doi={10.1002/pssr.202100027},
  title={Chemical Stability of IrO<sub>2</sub> Top Electrodes in Ferroelectric Hf<sub>0.5</sub>Zr<sub>0.5</sub>O<sub>2</sub>‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas},
  number={5},
  volume={15},
  issn={1862-6254},
  journal={physica status solidi (RRL) : Rapid Research Letters},
  author={Szyjka, Thomas and Baumgarten, Lutz and Mittmann, Terence and Matveyev, Yury and Schlueter, Christoph and Mikolajick, Thomas and Schroeder, Uwe and Müller, Martina},
  note={Article Number: 2100027}
}
RDF
<rdf:RDF
    xmlns:dcterms="http://purl.org/dc/terms/"
    xmlns:dc="http://purl.org/dc/elements/1.1/"
    xmlns:rdf="http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#"
    xmlns:bibo="http://purl.org/ontology/bibo/"
    xmlns:dspace="http://digital-repositories.org/ontologies/dspace/0.1.0#"
    xmlns:foaf="http://xmlns.com/foaf/0.1/"
    xmlns:void="http://rdfs.org/ns/void#"
    xmlns:xsd="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#" > 
  <rdf:Description rdf:about="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/53094">
    <dspace:isPartOfCollection rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/41"/>
    <dcterms:title>Chemical Stability of IrO&lt;sub&gt;2&lt;/sub&gt; Top Electrodes in Ferroelectric Hf&lt;sub&gt;0.5&lt;/sub&gt;Zr&lt;sub&gt;0.5&lt;/sub&gt;O&lt;sub&gt;2&lt;/sub&gt;‐based MIM Structures : The Impact of Annealing Gas</dcterms:title>
    <bibo:uri rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/handle/123456789/53094"/>
    <dc:creator>Szyjka, Thomas</dc:creator>
    <dc:contributor>Mittmann, Terence</dc:contributor>
    <dc:contributor>Baumgarten, Lutz</dc:contributor>
    <dc:contributor>Mikolajick, Thomas</dc:contributor>
    <dc:creator>Müller, Martina</dc:creator>
    <dc:creator>Schroeder, Uwe</dc:creator>
    <dc:creator>Mikolajick, Thomas</dc:creator>
    <dcterms:isPartOf rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/server/rdf/resource/123456789/41"/>
    <dcterms:hasPart rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/bitstream/123456789/53094/1/Szyjka_2-1eyquhuhauuss5.pdf"/>
    <dc:contributor>Schroeder, Uwe</dc:contributor>
    <dc:language>eng</dc:language>
    <dc:creator>Baumgarten, Lutz</dc:creator>
    <dc:contributor>Matveyev, Yury</dc:contributor>
    <dc:contributor>Schlueter, Christoph</dc:contributor>
    <dspace:hasBitstream rdf:resource="https://kops.uni-konstanz.de/bitstream/123456789/53094/1/Szyjka_2-1eyquhuhauuss5.pdf"/>
    <dcterms:available rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2021-03-05T13:32:41Z</dcterms:available>
    <foaf:homepage rdf:resource="http://localhost:8080/"/>
    <void:sparqlEndpoint rdf:resource="http://localhost/fuseki/dspace/sparql"/>
    <dc:contributor>Szyjka, Thomas</dc:contributor>
    <dc:contributor>Müller, Martina</dc:contributor>
    <dcterms:rights rdf:resource="http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/"/>
    <dc:creator>Schlueter, Christoph</dc:creator>
    <dc:creator>Mittmann, Terence</dc:creator>
    <dcterms:issued>2021-05</dcterms:issued>
    <dc:creator>Matveyev, Yury</dc:creator>
    <dc:rights>Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International</dc:rights>
    <dc:date rdf:datatype="http://www.w3.org/2001/XMLSchema#dateTime">2021-03-05T13:32:41Z</dc:date>
  </rdf:Description>
</rdf:RDF>

Interner Vermerk

xmlui.Submission.submit.DescribeStep.inputForms.label.kops_note_fromSubmitter

Kontakt
URL der Originalveröffentl.

Prüfdatum der URL

Prüfungsdatum der Dissertation

Finanzierungsart

Kommentar zur Publikation

Allianzlizenz
Corresponding Authors der Uni Konstanz vorhanden
Internationale Co-Autor:innen
Universitätsbibliographie
Ja
Begutachtet
Ja
Diese Publikation teilen