Publikation: Über die Stabilität frei fliegender flüssiger Filme
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Zusammenfassung
Das Ziel dieser Arbeit liegt in der Charakterisierung des Fluges von dünnen,
flüssigen Filmen nach der Laserablation. Ein besonderer Fokus gilt der Stabilität
gegenüber intrinsischen Störungen und gegenüber aufgeprägten periodischen
Inhomogenitäten.
Die für die Experimente verwendeten Isopropanolschichten in Dicken zwischen
100 nm und 1.5 µm werden auf einem Siliziumsubstrat kondensiert. Durch den
Beschuss mit einem kurzen und intensiven Laserpuls (λ = 532 nm, FWHM = 13 ns)
wird ein kleiner Teil der Flüssigkeit an der Grenzschicht zum Silizium überhitzt und
verdampft. Das unter Druck stehende Gaskissen beschleunigt den darüberliegenden
Film, dessen Dynamik durch einen interferometrischen Aufbau analysierbar wird.
Aus den experimentellen Daten kann so die Flugkurve extrahiert werden, die
unter anderem die Rückbeschleunigung der Filme zum Substrat zeigt. Dies ist
plausibel, wenn der Film geschlossen ist und sich so ein Unterdruck unter dem
Film aufbauen kann. Aus der Energiebetrachtung der beteiligten Drücke kann die
Bewegungsgleichung der Filme motiviert werden, dessen numerische Lösung die
experimentellen Trajektorien mit hoher Genauigkeit beschreibt.
Die Flugkurven bieten direkten Einblick in die Geschwindigkeit, die Flugdauer
und die Flughöhe der Filme. Die Maximalgeschwindigkeit der Filme direkt nach
der Beschleunigungsphase definiert die kinetische Energie, die der Film aus der
Expansion des Gaskissens übertragen bekommt. Die Startgeschwindigkeiten liegen
zwischen 60 m/s und 15 m/s. Die kinetische Energie ist über einen weiten Bereich
von untersuchten Schichtdicken (zwischen 100 nm und 1.1 µm) nahezu konstant.
Das bedeutet, dass der Phasenübergang an sich schichtdickenunabhängig ist und
dass es keinen prominenten, massenabhängigen Dissipationsmechanismus geben
kann. Die erreichte Flughöhe liegt zwischen 2 µm und 3 µm, während die Flugzeit
stark schichtdickenabhängig zwischen 150 ns und 500 ns beträgt.
Geht die komplette kinetische Energie in die potentielle Energie des Filmes
über, gibt die Flughöhe direkten Aufschluss über den unter dem Film erreichten
Unterdruck, der für die Redeposition verantwortlich ist. Dieser Unterdruck beträgt
für die untersuchten Filme zwischen 300 und 500 hPa.
Die Laserenergiedichte bei der Ablation, bei der zusammenhängende Filme
beobachtet werden konnten, reicht von 30 % bis hin zu 140 % der Silizium-
schmelzschwelle. Fliegende Filme verlangen eine minimale Energiedichte, da die
Blasennukleation an der Grenzschicht beim Phasenübergang sonst nicht schnell
genug vonstatten geht. Der für die Beschleunigung notwendige Druck wird dann
nicht erreicht. Die maximale Energiedichte liegt vor, wenn der Schmelzvorgang die Ablation der Flüssigkeit stört, so dass die Filme aufbrechen und nicht zum Substrat zurückkehren. Aus der Startzeit der Filme kann durch eindimensionale
Wärmeflussberechnungen auf die Temperatur im Silizium geschlossen werden, die
eine große Streuung im Bereich zwischen 400 und 500 K aufweist, also zwischen
der Siedetemperatur (355 K) und der Temperatur maximaler überhitzung (508 K)
von Isopropanol.
Der zweite Teil der Arbeit befasst sich mit dem Flug inhomogen ablatierter
Filme. Dazu wird das Silizum mit zwei interferierenden Laserstrahlen geheizt, so
dass eine linienförmige Intensitätsmodulation entsteht. Der Phasenübergang wird
dementsprechend inhomogen initiiert. Das resultiert in einem zweifach modulierten
Film. Zum einen ist die Schichtdicke nicht gleichmäßig, zum anderen hat der
Film eine periodische Verbiegung. Diese Modulationen können durch die Beugung
an dieser Störung detektiert werden. Die Amplitude der Beugungssignale gibt
Aufschluss über die Höhe der Modulation. Das Beugungssignal ist wie das direkt
reflektierte Licht ein Interferenzsignal; die Frequenz und Phase unterscheiden
sich jedoch aufgrund anderer Weglängenunterschiede der beteiligten Strahlen
voneinander.
Für die kurzen Modulationsperioden von 1.7 µm und 2.5 µm kann ein schicht-
dickenabhängiges Verhalten der Modulation beobachtet werden. Während die
Beugungsintensität bei dünnen Filmen beinahe konstant bleibt, nimmt diese bei
dickeren Filmen noch während der Flugzeit stark ab. Die Dämpfung der wel-
lenförmigen Modulation auf einer freien Oberfläche durch die Oberflächenspannung
in Abhängigkeit von der Schichtdicke kann in einem einfachen Modell qualitativ
erklärt werden. Bei den größeren Modulationsperioden von 3.3 µm und 4 µm konn-
te nur bei kleinsten angeregten Modulationsamplituden ein zusammenhängender
Film beobachtet werden. Auf diesen Filmen nimmt die Beugung jedoch während
der Dauer des Fluges zu. Die Instabilität wächst demnach an. Dieses Phänomen ist
plausibel, wenn man bedenkt, dass die Oberfläche eines Filmes kleiner wird, wenn
er in Streifen aufreißt, die eine gewisse Periode in Abhängigkeit von der Filmdicke
überschreiten. Dieses Verhältnis begünstigt das Anwachsen der Modulation mit
größeren Perioden.
Weiterhin wurden Untersuchungen zur Ablationsschwelle der Filme präsentiert.
Der Schwellenwert der inhomogen ablatierten Filme liegt bei 64 % der Schwelle
homogen ablatierter Filme, da in den Interferenzmaxima des inhomogenen La-
serprofils doppelte Energiedichten erreicht werden. Dies deutet auf eine minimale
Größe des überhitzten Bereiches, ab der die Energie ausreicht, um den gesamten
Film von der Unterlage zu heben.
Die in dieser Arbeit vorgestellten Untersuchungen an frei fliegenden, flüssigen
Filmen zeigen, dass die Stabilität dieser Filme über einen großen experimentell
zugänglichen Bereich gegeben ist. Die Thermodynamik der Ablation und die Hy-
drodynamik bei der Bewegung dieser Filme sind damit der Messung zugänglich und
werfen doch grundlegende Fragen im mesoskopischen Bereich zwischen klassischer
Gleichgewichtstheorie und der mikroskopischen Wechselwirkung auf.
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
The topic of this thesis are free flying fluid films. It deals with the preparation of
these films, the underlying mechanisms and the characterization of the flight. The
stability against intrinsic perturbations and against externally triggered periodic
inhomogeneities is emphasized.
The films arose from laser ablation experiments related to Steam Laser Cleaning,
where a liquid layer is condensed onto a contaminated substrate, which is then
ablated by a strong and short laser pulse and which drags the particulates with
it. The films used for the presented measurements consist of pure isopropanol
prepared on a smooth and clean silicon surface by condensation. The laser pulse
(λ = 532 nm, FWHM = 13 ns) heats a small amount of the liquid at the interface,
which overheats and evaporates. The gas forms a cushion at elevated pressure
which ejects the overlying layer as an intact film. This film can be used as the
moving part of an interferometer, thus allowing sub-nanosecond time-resolved
analysis of the position of the film and giving access to the flight trajectory,
the acceleration, the hight and the duration of the flight. This reveals that the
films return to the substrate after a parabolic-like flight. This is possible due to
low-pressure beneath the intact layer of isopropanol and the atmospheric pressure,
pushing from above. A simple model based on the involved pressures and forces
gives rise to the equation of motion, which can be fitted to the experimental data
with high accordance.
The maximal velocity of films with thicknesses between 100 nm and 1 µm has
been measured and the kinetic energy of these films is almost constant, which
supports the assumption, that the phase transition and the subsequent energy
transfer to the liquid layer is independent of its thickness. The maximal heights of
the films are between 2 µm and 3 µm, whereas the time of flight varies between
120 ns and 500 ns, strongly dependent on the thickness of the layer. Presuming
the complete energy transfer from the gas cushion to kinetic energy of the liquid
layer, the minimal pressure underneath can be estimated from the height in the
range between 300 and 500 hPa.
The stability of the liquid layer could be proven for energy densities well above the
melting threshold of the silicon substrate. The films then rupture, the velocity and
the flight distance increase and redeposition is not visible. The minimal energy
required for the ablation is at 30 % of the melting threshold.
With a modification to the experimental setup, the ablation can be started with
an imprinted inhomogeneity. Therefore the laser pulse is modulated with two-beam
laser interference with periods between 1.7 µm and 4 µm. The phase transition in the liquid starts inhomogeneous and is responsible for variations in the thickness of
the layer and in the pressure underneath, which deforms the film. The deformation
can be analyzed by its diffraction. Its intensity is a direct measure of the amplitude
of the modulation. The signal itself is based on the interference of the diffraction
of reflected and transmitted beams of the upper and the lower surface of the film,
its phase and frequency hence differs from that of the directly reflected light.
For small periods of the thermal modulation the deformation of the thin films
stays almost constant during the time of flight, whereas it decays with decreasing
time constant for the thicker films. This behavior is possible through damping
due to the surface tension and can be qualitatively explained within a simple
model. The longer periods (beyond 3.3 µm) show a different behavior. At these
periods continuous films are possible only for minimal thermal modulations, but
the instability increases during the time of flight. The waved surface of a film can
decrease, if it develops into cylinders, depending on the period and the thickness
of the film. This favors the break-up for longer modulation periods, regarding the
same range of film thicknesses.
Fachgebiet (DDC)
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ISO 690
FRANK, Pascal, 2011. Über die Stabilität frei fliegender flüssiger Filme [Dissertation]. Konstanz: University of KonstanzBibTex
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Ein besonderer Fokus gilt der Stabilität<br />gegenüber intrinsischen Störungen und gegenüber aufgeprägten periodischen<br />Inhomogenitäten.<br /><br />Die für die Experimente verwendeten Isopropanolschichten in Dicken zwischen<br />100 nm und 1.5 µm werden auf einem Siliziumsubstrat kondensiert. Durch den<br />Beschuss mit einem kurzen und intensiven Laserpuls (λ = 532 nm, FWHM = 13 ns)<br />wird ein kleiner Teil der Flüssigkeit an der Grenzschicht zum Silizium überhitzt und<br />verdampft. Das unter Druck stehende Gaskissen beschleunigt den darüberliegenden<br />Film, dessen Dynamik durch einen interferometrischen Aufbau analysierbar wird.<br />Aus den experimentellen Daten kann so die Flugkurve extrahiert werden, die<br />unter anderem die Rückbeschleunigung der Filme zum Substrat zeigt. Dies ist<br />plausibel, wenn der Film geschlossen ist und sich so ein Unterdruck unter dem<br />Film aufbauen kann. Aus der Energiebetrachtung der beteiligten Drücke kann die<br />Bewegungsgleichung der Filme motiviert werden, dessen numerische Lösung die<br />experimentellen Trajektorien mit hoher Genauigkeit beschreibt.<br /><br />Die Flugkurven bieten direkten Einblick in die Geschwindigkeit, die Flugdauer<br />und die Flughöhe der Filme. Die Maximalgeschwindigkeit der Filme direkt nach<br />der Beschleunigungsphase definiert die kinetische Energie, die der Film aus der<br />Expansion des Gaskissens übertragen bekommt. Die Startgeschwindigkeiten liegen<br />zwischen 60 m/s und 15 m/s. Die kinetische Energie ist über einen weiten Bereich<br />von untersuchten Schichtdicken (zwischen 100 nm und 1.1 µm) nahezu konstant.<br />Das bedeutet, dass der Phasenübergang an sich schichtdickenunabhängig ist und<br />dass es keinen prominenten, massenabhängigen Dissipationsmechanismus geben<br />kann. Die erreichte Flughöhe liegt zwischen 2 µm und 3 µm, während die Flugzeit<br />stark schichtdickenabhängig zwischen 150 ns und 500 ns beträgt.<br /><br />Geht die komplette kinetische Energie in die potentielle Energie des Filmes<br />über, gibt die Flughöhe direkten Aufschluss über den unter dem Film erreichten<br />Unterdruck, der für die Redeposition verantwortlich ist. Dieser Unterdruck beträgt<br />für die untersuchten Filme zwischen 300 und 500 hPa.<br /><br />Die Laserenergiedichte bei der Ablation, bei der zusammenhängende Filme<br />beobachtet werden konnten, reicht von 30 % bis hin zu 140 % der Silizium-<br />schmelzschwelle. Fliegende Filme verlangen eine minimale Energiedichte, da die<br />Blasennukleation an der Grenzschicht beim Phasenübergang sonst nicht schnell<br />genug vonstatten geht. Der für die Beschleunigung notwendige Druck wird dann<br />nicht erreicht. Die maximale Energiedichte liegt vor, wenn der Schmelzvorgang die Ablation der Flüssigkeit stört, so dass die Filme aufbrechen und nicht zum Substrat zurückkehren. Aus der Startzeit der Filme kann durch eindimensionale<br />Wärmeflussberechnungen auf die Temperatur im Silizium geschlossen werden, die<br />eine große Streuung im Bereich zwischen 400 und 500 K aufweist, also zwischen<br />der Siedetemperatur (355 K) und der Temperatur maximaler überhitzung (508 K)<br />von Isopropanol.<br /><br /><br /><br />Der zweite Teil der Arbeit befasst sich mit dem Flug inhomogen ablatierter<br />Filme. Dazu wird das Silizum mit zwei interferierenden Laserstrahlen geheizt, so<br />dass eine linienförmige Intensitätsmodulation entsteht. Der Phasenübergang wird<br />dementsprechend inhomogen initiiert. Das resultiert in einem zweifach modulierten<br />Film. Zum einen ist die Schichtdicke nicht gleichmäßig, zum anderen hat der<br />Film eine periodische Verbiegung. Diese Modulationen können durch die Beugung<br />an dieser Störung detektiert werden. Die Amplitude der Beugungssignale gibt<br />Aufschluss über die Höhe der Modulation. Das Beugungssignal ist wie das direkt<br />reflektierte Licht ein Interferenzsignal; die Frequenz und Phase unterscheiden<br />sich jedoch aufgrund anderer Weglängenunterschiede der beteiligten Strahlen<br />voneinander.<br /><br />Für die kurzen Modulationsperioden von 1.7 µm und 2.5 µm kann ein schicht-<br />dickenabhängiges Verhalten der Modulation beobachtet werden. Während die<br />Beugungsintensität bei dünnen Filmen beinahe konstant bleibt, nimmt diese bei<br />dickeren Filmen noch während der Flugzeit stark ab. Die Dämpfung der wel-<br />lenförmigen Modulation auf einer freien Oberfläche durch die Oberflächenspannung<br />in Abhängigkeit von der Schichtdicke kann in einem einfachen Modell qualitativ<br />erklärt werden. Bei den größeren Modulationsperioden von 3.3 µm und 4 µm konn-<br />te nur bei kleinsten angeregten Modulationsamplituden ein zusammenhängender<br />Film beobachtet werden. Auf diesen Filmen nimmt die Beugung jedoch während<br />der Dauer des Fluges zu. Die Instabilität wächst demnach an. Dieses Phänomen ist<br />plausibel, wenn man bedenkt, dass die Oberfläche eines Filmes kleiner wird, wenn<br />er in Streifen aufreißt, die eine gewisse Periode in Abhängigkeit von der Filmdicke<br />überschreiten. Dieses Verhältnis begünstigt das Anwachsen der Modulation mit<br />größeren Perioden.<br /><br />Weiterhin wurden Untersuchungen zur Ablationsschwelle der Filme präsentiert.<br />Der Schwellenwert der inhomogen ablatierten Filme liegt bei 64 % der Schwelle<br />homogen ablatierter Filme, da in den Interferenzmaxima des inhomogenen La-<br />serprofils doppelte Energiedichten erreicht werden. Dies deutet auf eine minimale<br />Größe des überhitzten Bereiches, ab der die Energie ausreicht, um den gesamten<br />Film von der Unterlage zu heben.<br /><br /><br />Die in dieser Arbeit vorgestellten Untersuchungen an frei fliegenden, flüssigen<br />Filmen zeigen, dass die Stabilität dieser Filme über einen großen experimentell<br />zugänglichen Bereich gegeben ist. 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