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Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen

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Datum

2014

Autor:innen

Drießen, Marion

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ISBN

978-3-8396-0651-3
Bibliografische Daten

Verlag

Stuttgart : Fraunhofer-Verl.

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Projekt

Open Access-Veröffentlichung
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Publikationstyp
Dissertation
Publikationsstatus
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Zusammenfassung

Kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen, welche auf dem Ansatz des epitaktischen Waferäquivalents beruhen, vereinen Vorteile Wafer-basierter Silicium-Solarzellen und der Dünnschichttechnologie. In dieser Arbeit werden Gasphasenätzprozesse betrachtet, welche die Herstellung der epitaktischen Waferäquivalente vereinfachen. Der Prozess des lateralen epitaktischen Überwachsens wird untersucht, um eine verbesserte Optik und Effizienz zu erreichen.

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Fachgebiet (DDC)
530 Physik

Schlagwörter

Konferenz

Rezension
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Zitieren

ISO 690DRIESSEN, Marion, 2014. Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen [Dissertation]. Konstanz: University of Konstanz. Stuttgart : Fraunhofer-Verl.. ISBN 978-3-8396-0651-3
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Prüfungsdatum der Dissertation

April 17, 2013
Hochschulschriftenvermerk
Konstanz, Univ., Diss., 2013
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