Publikation: Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen
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Datum
2014
Autor:innen
Drießen, Marion
Herausgeber:innen
ISSN der Zeitschrift
Electronic ISSN
ISBN
978-3-8396-0651-3
Bibliografische Daten
Verlag
Stuttgart : Fraunhofer-Verl.
Schriftenreihe
Auflagebezeichnung
URI (zitierfähiger Link)
Internationale Patentnummer
Angaben zur Forschungsförderung
Projekt
Open Access-Veröffentlichung
Sammlungen
Core Facility der Universität Konstanz
Titel in einer weiteren Sprache
Publikationstyp
Dissertation
Publikationsstatus
Published
Erschienen in
Zusammenfassung
Kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen, welche auf dem Ansatz des epitaktischen Waferäquivalents beruhen, vereinen Vorteile Wafer-basierter Silicium-Solarzellen und der Dünnschichttechnologie. In dieser Arbeit werden Gasphasenätzprozesse betrachtet, welche die Herstellung der epitaktischen Waferäquivalente vereinfachen. Der Prozess des lateralen epitaktischen Überwachsens wird untersucht, um eine verbesserte Optik und Effizienz zu erreichen.
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Fachgebiet (DDC)
530 Physik
Schlagwörter
Konferenz
Rezension
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Zitieren
ISO 690
DRIESSEN, Marion, 2014. Chemisches Gasphasenätzen und laterales epitaktisches Überwachsen für kristalline Silicium-Dünnschichtsolarzellen [Dissertation]. Konstanz: University of Konstanz. Stuttgart : Fraunhofer-Verl.. ISBN 978-3-8396-0651-3BibTex
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Interner Vermerk
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Prüfungsdatum der Dissertation
April 17, 2013
Hochschulschriftenvermerk
Konstanz, Univ., Diss., 2013