Investigation of high gigahertz acoustic phonon lifetimes in thin silicon membranes

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2013
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Erschienen in
2013 19th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (THERMINIC 2013) : Berlin, Germany, 25 - 27 September 2013. Piscataway, NJ: IEEE, 2013, pp. 13-15. ISBN 978-1-4799-2273-4
Zusammenfassung
Zusammenfassung in einer weiteren Sprache
Fachgebiet (DDC)
570 Biowissenschaften, Biologie
Schlagwörter
Konferenz
19th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (THERMINIC 2013), 25. Sept. 2013 - 27. Sept. 2013, Berlin, Germany
Rezension
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Zitieren
ISO 690SCHUBERT, Martin, Martin GROSSMANN, Matthias KLINGELE, Oliver RISTOW, Mike HETTICH, Thomas DEKORSY, 2013. Investigation of high gigahertz acoustic phonon lifetimes in thin silicon membranes. 19th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (THERMINIC 2013). Berlin, Germany, 25. Sept. 2013 - 27. Sept. 2013. In: 2013 19th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems (THERMINIC 2013) : Berlin, Germany, 25 - 27 September 2013. Piscataway, NJ: IEEE, 2013, pp. 13-15. ISBN 978-1-4799-2273-4
BibTex
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