Boneberg, Johannes

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Boneberg
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Johannes
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1998 - 199912000 - 20065
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Autor:in: pop00574 × Thema: laser cleaning ×

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    Veröffentlichung
    Zeitschriftenartikel
    Nanoparticle adhesion and removal studied by pulsed laser irradiation
    (2006) Leiderer, Paul; Olapinski, Michael; Mosbacher, Mario; Boneberg, Johannes
    Erschienen in: High-Power Laser Ablation VI / Proc SPIE. 2006, 6261, 62610F. Available under: doi: 10.1117/12.675552
    Nanoparticle_adhesion_and_removal_studied_by_pulsed_laser_irradiation_2006.pdf
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    Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Sammelband
    Laser cleaning of silicon wafers : prospects and problems
    (2003) Mosbacher, Mario; Dobler, Volker; Bertsch, Micha; Münzer, Hans-Joachim; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: MITTAL, K. L., ed.. Surface contamination and cleaning, Vol 1. Utrecht: VSP, 2003
    Laser_cleaning_of_silicon_wafers.pdf
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    Veröffentlichung
    Zeitschriftenartikel
    Optical near field effects in surface nanostructuring and laser cleaning
    (2002) Münzer, Hans-Joachim; Mosbacher, Mario; Bertsch, Micha; Dubbers, Oliver; Burmeister, Frank; Pack, Andreas; Wannemacher, Reinhold; Runge, Bernd-Uwe; Bäuerle, Dieter; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: Proc of SPIE. 2002, 4426, pp. 180-183. Available under: doi: 10.1117/12.456827
    295_procSPIE_2002.pdf
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    Veröffentlichung
    Zeitschriftenartikel
    Local field enhancement effects for nanostructuring of surfaces
    (2001) Münzer, Hans-Joachim; Mosbacher, Mario; Bertsch, Micha; Zimmermann, Jörg; Leiderer, Paul; Boneberg, Johannes
    Erschienen in: Journal of Microscopy. 2001, 202(1), pp. 129-135. Available under: doi: 10.1046/j.1365-2818.2001.00876.x
    283_jmic_2001.pdf
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    Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Sammelband
    Laser assisted particle removal from Silicon wafers
    (2001) Mosbacher, Mario; Münzer, Hans-Joachim; Bertsch, Micha; Dobler, Volker; Chaoui, Nouari; Siegel, Jan Philip; Oltra, Roland; Bäuerle, Dieter; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: MITTAL, K. L., ed.. Particles on Surfaces by K L Mittal, publ by Plenum Publ, accepted as a chapter, 2001. 6. Plenum Publ., 2001
    291_vsp_2002.pdf
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    Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Konferenzband
    Laser cleaning of silicon surfaces
    (1998) Leiderer, Paul; Boneberg, Johannes; Mosbacher, Mario; Schilling, Andreas; Yavaá¹£, OÄŸuz
    Erschienen in: DUBOWSKI, Jan J., ed., Peter E. DYER, ed.. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing III. SPIE, 1998, pp. 68-78. SPIE Proceedings. 3274. Available under: doi: 10.1117/12.309495
    235_procspie_1998.pdf