Boneberg, Johannes

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Boneberg
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Johannes
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Suchergebnisse Publikationen

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  • Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Sammelband
    Laser cleaning of silicon wafers : prospects and problems
    (2003) Mosbacher, Mario; Dobler, Volker; Bertsch, Micha; Münzer, Hans-Joachim; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: MITTAL, K. L., ed.. Surface contamination and cleaning, Vol 1. Utrecht: VSP, 2003
    Laser_cleaning_of_silicon_wafers.pdf
  • Veröffentlichung
    Zeitschriftenartikel
    Laser cleaning of silicon wafers : mechanisms and efficiencies
    (2002) Mosbacher, Mario; Bertsch, Micha; Münzer, Hans-Joachim; Dobler, Volker; Runge, Bernd-Uwe; Bäuerle, Dieter; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: Proc of SPIE. 2002, 4426, pp. 308-314. Available under: doi: 10.1117/12.456821
    294_procSPIE_2002.pdf
  • Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Sammelband
    Laser assisted particle removal from Silicon wafers
    (2001) Mosbacher, Mario; Münzer, Hans-Joachim; Bertsch, Micha; Dobler, Volker; Chaoui, Nouari; Siegel, Jan Philip; Oltra, Roland; Bäuerle, Dieter; Boneberg, Johannes; Leiderer, Paul
    Erschienen in: MITTAL, K. L., ed.. Particles on Surfaces by K L Mittal, publ by Plenum Publ, accepted as a chapter, 2001. 6. Plenum Publ., 2001
    291_vsp_2002.pdf
  • Veröffentlichung
    Zeitschriftenartikel
    Local field enhancement effects for nanostructuring of surfaces
    (2001) Münzer, Hans-Joachim; Mosbacher, Mario; Bertsch, Micha; Zimmermann, Jörg; Leiderer, Paul; Boneberg, Johannes
    Erschienen in: Journal of Microscopy. 2001, 202(1), pp. 129-135. Available under: doi: 10.1046/j.1365-2818.2001.00876.x
    283_jmic_2001.pdf
  • Veröffentlichung
    Beitrag zu einem Konferenzband
    Laser-induced Particle Removal from Silicon Wafers
    (2000) Leiderer, Paul; Boneberg, Johannes; Dobler, Volker; Mosbacher, Mario; Münzer, Hans-Joachim; Chaoui, Nouari; Siegel, Jan Philip; Solis Cespedes, Francisco Javier; Afonso Rodriguez, Carmen Nieves; Fourrier, T.; Schrems, Gernot; Bäuerle, Dieter
    Erschienen in: Proceedings of SPIE. SPIE, 2000, pp. 249-259. eISSN 0277-786X. Available under: doi: 10.1117/12.407353
    272_procSPIE_2000.pdf